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產品描述
參數
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直徑(mm) |
76.2 - 150 |
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直徑公差(mm) |
X±0.2 |
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導電類型/摻雜劑 |
N型(NTD) |
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晶向 |
<111>、<100> |
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電阻率范圍(Ω.cm) |
30～1000 |
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徑向電阻率變化(%) |
≤6%or≤8% |
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氧含量(at cm-3 ) |
≤1×1016 |
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碳含量(at cm-3 ) |
≤2×1016 |
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厚度及公差(um) |
根據客戶要求 |
|
其他參數 |
按SEMI標準或客戶要求 |
關鍵詞：:
FZ-NTD研磨片
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FZ-GD研磨片
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無
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