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產品描述
參數
| 直徑(mm) | 76.2-150 |
| 直徑公差(mm) | X±0.3可根據客戶要求調整 |
| 導電類型/摻雜劑 | N型/Ph/As/Sb、P型/B |
| 晶向 | <111>、<100> |
| 電阻率范圍(Ω.cm) | 0.001-60 |
| 徑向電阻率變化(%) | N型≤18% P型≤10% |
| 氧含量(at cm-3 ) | ≤1×1018 |
| 碳含量(at cm-3 ) | ≤5×1016 |
| 厚度及公差(um) | 根據客戶要求 |
| 顆粒度 | 根據客戶要求 |
| 其他參數 | 按SEMI標準或客戶要求 |
| 表面狀態 | 單面拋光或雙面拋光 |
關鍵詞：:
CZ硅拋光片
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CZ/MCZ硅研磨片
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FZ-GD研磨片
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電話：0379-64368882
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